20世纪60年代提出了超精密零件加工技术。 它是提高机电产品性能，质量，使用寿命和可靠性以及节能能力的重要途径。 超精密零件加工是指加工误差小于0.1m，表面粗糙度。 加工技术小于Ra0.025Ixm，又称亚微米加工，超精密零件加工技术水平是国家制造业水平的重要标志之一。

　　除了液压和气动源的波动外，工作环境对加工质量有很大影响。 因此，工作环境是确保加工质量的必要条件。 工作环境主要有温度，净化和抗振动要求。 环境温度变化对机床精度的影响尤为显着。 由包括环境温度变化在内的热因素引起的加工误差占总加工误差的（40 70）％。 灰尘的混合会导致工件表面划伤并影响表面质量。 如果在加工过程中发生振动，加工表面上会出现条纹或条纹痕迹，这会导致表面光洁度显着下降。

　　随着超精密零件加工的精度要求越来越高，对加工环境的要求也越来越严格。 仅从供给压力，环境温度变化，外部和自振动的波动，影响超精密加工的精度，分析其影响。 超精密加工精度的因素是多种多样的。 为了提高超精密加工的精度，不仅要了解影响它的因素，还要了解解决方案。